产品关键词:单晶硅片测厚仪、单晶硅片厚度检测仪器、单晶硅片厚度测量仪器、单晶硅片厚度测试仪
Labthink兰光的CHY-CA改款型测厚仪,可用于单晶硅片厚度的检测,测试分辩率高达0.1微米,*单晶硅片对厚度高精度测试的要求;同时测试幅面宽度可以达到400mm,*单晶硅片整个幅面厚度测试的要求。CHY-CA改款型测厚仪除了具备高精度、率等特点外,还采用测量样品自动前进驱动系统,大大提高了测试效率,充分满足用户连续测试的要求,并配有专业软件支持,操作方便、人机交互友好。
1、结构组成
CHY-CA改款型测厚仪主要由控制系统、测量系统、打印输出系统三部分组成。测量系统对薄膜进行测量,并输出相应电信号;控制系统用以参数的设定、修改、传输信号的处理、测量结果的显示等;打印输出系统的功能是统计结果的输出,打印试验结果。
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